書誌情報


タイトル薄膜作成の基礎 ハクマク サクセイ ノ キソ
著者麻蒔 立男/著 アサマキ タツオ
第2版
出版者東京 日刊工業新聞社
出版年1984.7
形態事項249,4p 22cm
ISBN4-526-01743-4
価格 (本体価格 \3000)
NDC10(NDC9)[郷土分類] (549.8)
一般件名薄膜
真空技術
利用対象専門家
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【 所蔵 】  1冊

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