書誌情報


タイトル半導体シリコン結晶工学 ハンドウタイ　シリコン　ケッショウ　コウガク
著者志村 史夫／著 シムラ　フミオ
出版者東京 丸善
出版年1993.9
形態事項424p 22cm
ISBN4-621-03876-1
価格 (本体価格 \8600)
NDC10(NDC9)[郷土分類] (549.8)
一般件名シリコン(半導体)
利用対象専門家
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【　所蔵　】  1冊

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