書誌情報


タイトル超微細加工の基礎 チョウビサイ　カコウ　ノ　キソ
電子デバイスプロセス技術
著者麻蒔 立男／著 アサマキ　タツオ
版第2版
出版者東京 日刊工業新聞社
出版年2001.9
形態事項295p 21cm
ISBN4-526-04812-7
価格 (本体価格 \3900)
NDC10(NDC9)[郷土分類] (549.8)
一般件名半導体
利用対象一般
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【　所蔵　】  1冊

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